產品應用
因應大量3D感測(3D-sensing)技術應用於生活,如消費性電子感測、車載手勢與面部感應、車用高級輔助駕駛系統(Advanced Driver Assistance System, ADAS)發展等,短脈衝雷射被廣泛應用於戶外與需要長距離感測之應用情境。58636短脈衝光電元件晶圓點測平台可針對此種短脈衝高功率雷射晶圓晶片提供多元的測試方式。
短脈衝下待測物的驅動與數位控制
除了傳統晶圓(Wafer)的測試外,58636也支援異質結合晶片(Heterogeneous Integration, HI) 如VCSEL on System (VoS)以及VCSEL on Driver (VoD)的量測。58636設計了特殊的電子迴路設計以及電子數位控制的能力,針對不同型式的待測物將以正確且快速的驅動與量測達到客戶需求。與微秒(microsecond) 等級脈衝相比,奈秒(nanosecond)等級的脈衝驅動因驅動時間大幅減少,能獲取的資料範圍有限,因此需要精準驅動並且搭配相對應高頻量測系統才可達成短脈衝量測。
Chroma 58636量測系統符合多元待測物短脈衝的需求。針對晶圓待測物,58636以專利迴路設計達到奈秒等級的驅動與量測; 針對異質結合晶片,58636搭配數位控制系統驅動待測物數位控制迴路後進行測試。
支援多元待測物型式
短脈衝待測物為達到精準的驅動,衍伸出不同的待測物型式,VoS與VoD的測試型式與傳統晶圓有所不同。致茂電子可支援如印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)或是銅鋁機板等打件型式待測物,搭配多元的待測物載具,使不同待測物型式可置於同一系統中測試。
晶圓製程流程中,可靠度驗證是晶圓品質的一環。58636搭配致茂電子雷射二極體燒機及可靠度測試系統,提供雙機台可共用的載具,具備了晶圓驗收測試以及批次驗收測試(Wafer Acceptance Test, WAT; Lot Acceptance Test, LAT)相關驗證的能力。58636使用同一平台,利用多元的載具增加測試的彈性。
節省人力、硬體與空間成本
在專利光學探頭的設計下可以達成多種量測,單次下針即可獲得電壓、電流、電阻、光譜、光功率、近場光學等測試結果,並且節省寶貴的無塵室空間。
其他選配功能如: 多顆待測物測試與自動上下料系統可更加有效率地縮短測試時間與減少人力成本;多顆待測物可在一次下針中,針對光學視野內的待測物依序作量測,大幅減少因多次下針載台累積位移所需的移動時間。自動上下料系統可提供10~15片晶圓不間斷連續量測能力,減少因為人力換班造成的時間損失。