短脈衝光電元件晶圓點測平台 Model 58636 Series

短脈衝光電元件晶圓點測平台
短脈衝光電元件晶圓點測平台
產品特色
  • 短脈衝:支援奈秒(nanosecond scale)等級之脈衝
  • 數位控制:支援VoS (VCSEL on System),VoD (VCSEL on Driver) 等異質整合待測物提供數位控制。
  • 波型量測:可使用波型輸出模式(工程模式),了解待測物特性。
  • 多顆待測物同時測試:大幅度減少測試時間,增加測試效率。
  • 6或8吋載台:最大可支援8吋晶圓測試。
  • 電性與近場光學測試:二合一光學頭專利設計。
  • 支援多元待測物型式:透過特殊載台與載具可提供晶圓與其他形式的待測物於同一系統測試。
  • 輔助可靠度測試驗證待測物特性:搭配Chroma燒機測試系列,使用共同治具達到系統化的作業流程。
  • 彈性編輯測試項目報表:自由編輯輸出測試項目使報表更精簡。
  • 低溫(-20℃)至高溫(100℃)測試:精準溫控±0.1℃幅度。
  • 自動上下料系統:支援10~15槽位放置晶圓,連續測試不間斷。

應用領域

因應大量3D感測 (3D-sensing) 應用於生活,如消費性電子感測、車載手勢與面部感應、車用高級輔助駕駛系統 (Advanced Driver Assistance System, ADAS) 發展等,短脈衝雷射被廣泛應用於戶外與需要長距離感測之應用情境。Chroma短脈衝光電元件晶圓點測平台58636可針對此種短脈衝高功率雷射晶圓晶片提供多元的測試方式。

短脈衝下待測物的驅動與數位控制

除了傳統晶圓 (Wafer) 的測試外,58636也支援異質結合晶片 (Heterogeneous Integration, HI) 如VCSEL on System、VoS以及VCSEL on Driver、VoD的量測。58636量測系統設計特殊電子迴路以及電子數位控制的能力,針對不同型式的待測物將以正確且快速的驅動與量測達到客戶需求。與微秒 (microsecond) 等級脈衝相比,奈秒 (nanosecond) 等級的脈衝驅動因驅動時間大幅減少,能獲取的資料範圍有限,因此需要精準驅動並且搭配相對應高頻量測系統才可達成短脈衝量測。

Chroma 58636量測系統符合多元待測物短脈衝的需求。針對晶圓待測物,58636以專利迴路設計達到奈秒等級的驅動與量測,針對異質結合晶片,58636搭配數位控制系統驅動待測物數位控制迴路後進行測試。

支援多元待測物型式

短脈衝待測物為達到精準的驅動,衍伸出不同的待測物型式,VoS與VoD的測試型式與傳統晶圓有所不同。致茂電子可支援如印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)或是銅鋁機板等打件型式待測物,搭配多元的待測物載具,使不同待測物型式可置於同一系統中測試。

晶圓製程流程中,可靠度驗證是晶圓品質的一環。58636搭配Chroma雷射二極體燒機及可靠度測試系統,提供雙機台可共用的載具,具備了晶圓驗收測試以及批次驗收測試 (Wafer Acceptance Test, WAT ; Lot Acceptance Test, LAT) 相關驗證的能力。58636使用同一平台配合多元的載具增加測試的彈性。

節省人力、硬體與空間成本

在專利光學探頭的設計下可以達成多種量測,單次下針即可獲得電壓、電流、電阻、光譜、光功率、近場光學等測試結果,並且節省寶貴的無塵室空間。

其他選配功能如: 多顆待測物測試與自動上下料系統可更加有效率地縮短測試時間與減少人力成本;多顆待測物可在一次下針中,針對光學視野內的待測物依序作量測,大幅減少因多次下針載台累積位移所需的移動時間。自動上下料系統可提供10~15片晶圓不間斷連續量測能力,減少因為人力換班造成的時間損失。


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