Chroma 58606是專為光電二極體設計的高密度、多功能、且具備溫度控制的模組式燒機及可靠度測試系統。每個模組內建256個通道的SMU,可透過程式設定不同模式的電源輸出與量測。每個系統最多可安裝七層模組,共有1,792個SMU通道。
自動定電流控制模式 (ACC)
在ACC模式下,程式會將每個通道控制在預先設定的輸出電流值,並達到長時間的穩定輸出。即使待測物的內阻隨著時間或溫度產生波動,程式仍會控制SMU在整個燒機期間維持定值的電流輸出。而待測物的電壓值會在整個燒機期間定時的量測,並且記錄下來,留待事後分析或作為出貨的判斷。
燒機溫度控制
專利設計的加熱板能夠精確地控制子模組內的溫度,同時有很好的穩定性與均溫性。與烤箱或溫控腔(oven or chamber) 類型的雷射二極體燒機系統比較,Chroma 58606的解決方案更加精簡、容易操作,並具更佳的效能且更節省能源。使用加熱板的好處是,雷射二極體不會受到ESD的干擾,更少的粉塵與異物汙染,以及容易維護。
高精準探針接觸
58606使用特殊探針,即使如APD般小至 70um的焊盤,也能確保接觸。 載具和針盤(DIB)會專為每個待測物進行訂製,確保正確的接觸對位以進行高精度探針接觸。
獨立的子模組操作
使用者可以在不同的子模組設定不同的溫度,在不同的時間開始執行燒機測試,並設定不同的燒機時長。獨立操作意味著每個子模組都可以設置不同的燒機條件,並且各子模組間互不干涉,提供給使用者最多的彈性。
保護機制及關閉個別通道
控制電路同時也包含雷射二極體的保護,不會有電流或電壓的突波產生而傷害待測物;可設置各通道電流和電壓的上下限保護,當觸發上下限時,會即時關閉個別通道來保護待測物。當異常發生時,系統將關閉特定引發異常的通道,其他正常通道仍可正常運作。除了將保護功能設計在控制電路內,通道間的絕緣(Isolation)與靜電(ESD)保護也都包含在設計內。
通訊中斷恢復後資料自動寫入
老化測試資料儲存在系統的電腦中,當模組與系統電腦通訊暫時中斷時,資料可暫存於模組中約6~8小時,通訊恢復連線之後,暫存於模組中的資料可自動寫入系統電腦,不會有資料遺失。