Chroma 58212-C是一台精準控溫、多點測試、自動化的外延片(Epitaxial Wafer)/芯片(Chip)探測針光電應用測試設備,提供快速且準確的光電性能量測,廣泛的應用於雷射二極體(Laser Diode)和發光二極體(Light-Emitting Diode)等產品。
58212-C的點測系統採用了靈活的設計,提供不同類型的光電元件測試,包括水平結構(Lateral)、垂直結構(Vertical)和倒裝晶片(Flip Chip);測試前的掃描程序可提供完整的晶圓掃描圖以保證測試的精度;專利探針頭可防止待測物刮傷並確保每一個芯片接觸。
此機型提供多點測試(multi-site)設計,透過客製化的架構可支援一次下針測試多點位置,此設計可穩定測試並節省測試時間,增加測試效能。
透過Chroma的獨特光學設計可取得精確且穩定快速的光學數據,如:光功率、中心波長、峰值波長、半峰全寬及色溫等。量測光學的同時也可獲取電性數據,如:順向電流、順向電壓、漏電流、逆向崩潰電壓、斜率效率、光電轉換效率等,以上光電測試皆在一次下針的時間內完成。
軟體操作介面及先進的邏輯演算法,可使得生產效益大幅提升;完善的測試報表與良率統計供使用者輕鬆掌握生產狀況。
測試項目
電源特性量測
- 閾值電流 Threshold Current (Ith)
- 順向電壓 Forward Voltage (Vf)
- 漏電流 Reverse leakage Current (Ir)
- 逆向崩潰電壓 Reverse Breakdown (Vrb)
光特性量測
- 光功率 Optical Power (Po)
- 中心波長 Centre Wavelength (Wc)
- 峰值波長 Peak Wavelength (Wp)
- 半峰全寬 Full Width at Half Maximum (FWHM)
硬體設備
- 自動化晶圓芯片點測設備
- 電性測試模組
- 光學測試模組
- 選配ESD測試模組 (LED適用)