3Dセンシング技術は、日常生活において広く応用されています。具体的な例としては、スマートフォンの指紋センサーやカメラの顔認識機能、ウェアラブルデバイスの生体センサー、さらにはスマート家電の環境センサーなどがあります。これらの技術の発展は、今後の車載ジェスチャー認識や顔認識、さらには車両用高度運転支援システム（ADAS）の進化にも寄与するでしょう。これらのアプリケーションにおいて、特に短パルスレーザー技術が重要な役割を果たしています。この技術は、屋外や長距離センサーが求められる場合に広く使用されます。Chroma 58636短パルス駆動フォトニクスデバイスウェハプロービングテストシステムは、短パルス高出力レーザーウェハチップに対して、多様なテスト方法を提供します。

従来のウェハ（ W a f e r ） テストに加え、58636は異種統合チップ（Heterogeneous Integration, HI）であるVCSEL on Silicon（VoS）やVCSEL on Driver（VoD）の測定もサポートしています。このシステムは特別な電子回路設計とデジタル制御機能を備え、正確かつ高速な駆動と測定を行います。ナノ秒（nanosecond）レベルのパルス駆動は、マイクロ秒（microsecond）レベルに比べて駆動時間が短く、これによりデータ取得の範囲が制約されるため、精密な駆動と高頻度の測定を実現するためのシステムが必要となります。

Chroma 58636測定システムは、多様な対象物の短パルス測定ニーズに対応します。ウェハ対象物に対しては、特許回路設計によりナノ秒レベルの駆動と測定を実現します。異種統合チップには、デジタル制御システムを使用して対象物のデジタル制御回路を駆動し、テストを行います。

短パルスの精密な駆動や測定を実現するため、異なる対象物のタイプが派生しています。VCSEL on System（VoS）やVCSEL on Driver（VoD）のテストは、従来のウェハテストとは異なるアプローチが必要です。Chromaは、プリント基板（Printed Circuit Board, PCB）や銅アルミ基板などの対象物もサポートし、それらに対応するアダプタを用いることで、異なる対象物タイプを同一システムでテストできる環境を整えています。

ウェハ製造プロセスにおいて、信頼性検証はウェハ品質にとって重要です。58636はChromaのレーザーダイオードバーイン装置および信頼性テストシステムを組み合わせることで、ウェハ受け入れテスト（Wafer Acceptance Test, WAT）やロット受け入れテスト（Lot Acceptance Test, LAT）に関連する検証能力を備えています。両システムで共通に使用できるアダプタを提供することで、組み合わせて柔軟にご使用いただけるようになっています。

特許取得済みの光学プローブ設計により、同一ステージで複数の測定が可能です。単一のプローブで電圧、電流、抵抗、光スペクトル、光出力、NFPなどのテスト結果を取得できるため、貴重なクリーンルームスペースを効率的に節約できます。

58636には、他にもさまざまなオプション機能があります。例えば、複数の対象物のテストや自動搬送システムを利用することで、テスト時間の短縮と人件費の削減がより効率的に実現できます。複数の対象物は、一度のプローブで光学視野内の対象物を順次測定できるため、複数回のプローブによるステージの移動時間を大幅に削減できます。さらに、自動搬送システムを利用することで、10〜15枚のウェーハを連続して測定できるため、作業者の作業時間を軽減できます。