Chroma 58212-Cは正確な温度制御、Multi-Site測定、全自動化のエピタキシャルウェファー/チップスポット測定設備、高速で正確な光電性能測定を提供する装置です。LDとLEDなどの測定に広く使用されています。*1
システムの設計は水平構造(Lateral)、垂直構造(Vertical)、フリップ型(Flip )など、様々なタイプの光電製品を測定するため、柔軟な設計が採用されています。測定前のスキャン機能が完全なウェハスキャンマップを提供し、測定の精度が保証できます。Edge sensorに特許を持ちプローブが測定物の擦り傷を防ぎ、ダイとの接触をより高度に確保できます。
58212-Cは多点測定（multi-site）の設計となり、構成をカスタマイズする事により、一回のプロービングで複数箇所の測定ができ、安定な測定を実現、また、測定時間の短縮、測定効率が向上します。
Chroma独自の光学設計により、光学データの光パワー、中心波長、ピーク波長、ハーフピーク幅、色温度などを、正確、安定且つ高速に取得できます。光学データの測定と同時に電気データも取れます。例えば、順向電流、順向電圧、漏れ電流、逆降伏電圧、斜率効率、光学変換効率などの測定項目が一回のプロービングで完成できます。
58212-CのソフトウェアのI/F及び優れたロジックアルゴリズムにより、生産効率が大幅に向上できます。また、完備な測定レポートと歩留まり統計データが提供され、ユーザーが生産状況を簡単に把握できます。
Note *1: テスト条件は、300um間隔、5つの電気テスト項目、1つの光学テスト項目の条件でサンプルを取ります。LEDの特性の違いにより、測定結果が異なる場合があります。
テスト項目
電源特性測定
- 閾値電流 Threshold Current (lth)
- 順方向電圧 Forward Voltage (Vf)
- 漏れ電流 Reverse Leakage Current (Ir)
- 逆降伏電圧 Reverse Breakdown Voltage (Vrb)
光の特性測定
- 光パワー Optical Power
- 中心波長 Centre Wavelength (Wc)
- ピーク波長 Peak Wavelength (Wp)
- 半値全幅 Full Width at Half Maximum (FWHM)
Hardwares
- 自動化 LED Wafer/Chipスポット測定設備
- 電気テストモジュール
- 光学テストモジュール
- オプションESDテストモジュール
