（7503）

7503は、光学スキャン技術を応用した白光干渉式3D光学プロファイラーで、精密な走査システムと革新的なアルゴリズムを応用して、マイクロナノ構造物の表面形状測定と解析を行います。また必要に応じてカラーとモノクロカメラを切り替えて2D測定が行えます。本システムは顕微鏡測定機能も備え、多目的な計測が可能です。

7503は新世代のモジュラーシステム設計で、様々な測定アプリケーションに対応可能な高度な柔軟性を持っています。電動タレットを搭載し、同時に最大5種類のレンズがマウントできます。使用時に自動的切替えができますので、手動でレンズを交換する手間が省けます。また5軸の電動ステージを搭載して、サンプルに対して自動レベリングや位置決めをすることができます。X-Y方向のスキャン範囲は広く、様々なアプリケーションを自動測定が可能です。サンプルは前処理が不要で、すぐに非破壊で高速な表面形状の測定と解析が行え、研究開発や生産プロセスの改善、学術研究の用途に最適です。

走査線の測定に使用する場合のZ軸のストロークは60mm、X-Y軸の分解能はサブミクロンオーダーに達しています。またお客様のご要求に応じて、ステージサイズを変更することも可能です。独自の高速解析アルゴリズムによって、システムの解析結果はNIST標準に適合しています。また数種類の革新的で信頼性の高いアルゴリズムと組み合わせることで、高精度で広範囲な測定が可能となっています。精密電動ステージのZ軸の走査機能と高速オートフォーカスのアルゴリズムを組合せることにより、ベストフォーカス位置を容易に見つけることができます。また傾斜調整付きステージを使用して、複雑な操作なしで数秒以内にシステムが自動的にサンプルをベストフォーカス位置に調整して、測定が行えます。

一般的な産業用の白色光干渉解析を行う装置は、表面の高さを計算する重心アルゴリズムを使用していますが、光回折の効果は、ある位置で高さの計算に誤差が生じるため、境界輪郭の測定結果データにも誤差が影響してしまいます。7503は、測定ソフトウェアに最新の「3D Profiler Master」を採用しており、 独自の干渉信号処理アルゴリズムと組合せることによって、白色光干渉のスペクトルを分析して、境界エラーの問題を回避することができます。

このほかに独自の暗点処理機能を搭載しており、フィルター及び干渉によるデータの誤差を修正することができます。検出した暗点を除去することにより、測定上の誤差を軽減させることができます。暗点処理のプロセスがリアルタイムに機能することにより、暗点フィルタ機能を効果的に実行することができます。また暗点処理に際してデータベースを参照することによって、さらに測定の信頼性を高めています。

STA (Surface Texture Analysis) Master、表面輪郭データに対して解析と修正を行い、アイコン一つで完全な表面形態を表示できます。150種以上の線または面の輪郭パラメーター計算を行い、粗度、起伏、平坦度、ピークとボトムなどを表示します。またハイパス/ローパスフィルタやFFT、カスプを除去する空間フィルタリング等の各種ツールを装備し、また多項式フィッティング、領域拡張、全表面及びマルチゾーンの平準化法等のデータ処理機能を解析上に活用することができます。

多様化するハイテク産業の中で、あらゆる半導体、フラットパネルディスプレイ、光ファイバー通信、MEMS、生物医学や電子パッケージ等は、ミクロ構造の表面輪郭形状の精度によって製品の性能と機能を決定されます。これら製品の製造工程では、ほとんどの場合、ミクロ構造の表面輪郭品質に対し検査を行っています。これらに対して7503は多種多様の表面形状パラメーター測定機能を提供して、段差高度、角度、面積、体積、粗度、起伏、薄膜厚さや平坦度の測定機能で、製造メーカーや研究開発へのニーズにお応えしています。

7503は2Dと3D測定を兼備しており、高速倍率切替えや広範囲のマッピング機能で、様々なの測定ニーズに対応することができます。拡張性に優れたモジュラーシステム設計によって、各種機能をユーザーのご要求に応じて搭載することができます。お客様毎のシステム構成とすることによって解析効率向上とコスト削減において最適な1台です。