Chroma最新一代7505-01多功能光学检测系统能实现在一设备上同时具备1D、2D、3D的量测能力。 1D膜厚量测功能,利用穿透反射式量测,可对透明半透明的材料进行非破坏性膜厚量测。 2D量测搭载高分辨率线型扫瞄相机,搭配电脑精密控制的平台进行水平扫描,量测范围可达到700mm x 900mm的范围,同时载台具备真空吸附能力,针对软性被测物如触控面板 、电子纸及AMOLED等软性显示器等可以平整的被吸附形成一个平整的平面。 本系统可适合于各种需要进行微奈米等级量测并同时需要量测大范围的应用。 2D瑕疵量测,可检出气泡、刮伤、异物等瑕疵,并可透过三维量测功能进一步对二维瑕疵进行高度或深度的分析,同时具备2D及3D瑕疵分析的功能,能解决传统二 维检测无法量测高度或深度的缺点。
Chroma 7505-01能提供微奈米等级1D、2D、3D多功能的量测能力,也针对面板级先进封装之应用:TSV/VIA, RDL, Probe Mark, Surface Topography等等,提供专属之演算法 和UI,并同时满足各项产业及研究单位之需求,是您提升效率及节省成本的选择。